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김성섭 (서울대학교) 김원배 (서울대학교) 조맹효 (서울대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
722 - 724 (3page)

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In this paper equilibrium state of epitaxially deposited thin film is studied by using Finite Element Method (FEM). Flat bilayer thin film is used as the initial state of the simulation model. Thickness, width and length are chosen as design parameters. Simulations are performed for both 〈100〉 or 〈110〉 direction. Helical shapes, cylindrica ... 전체 초록 보기
#Nanospring(나노스프링) #bilayered thin film(이중 박막)

목차

Abstract
1. 서론
2. 유한요소 해석
3. 유한요소 해석 결과
4. 결론
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