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김경헌 (한국과학기술연구원) 성영민 (한국과학기술연구원) 장지웅 (한국과학기술연구원) 전영민 (한국과학기술연구원) 김선호 (한국과학기술연구원) 변영태 (한국과학기술연구원)
저널정보
대한전기학회 정보 및 제어 논문집 CICS 2010 정보 및 제어 학술대회 논문집
발행연도
2010.10
수록면
45 - 46 (2page)

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2010

간단한 조립 공정에 의해 배열된 SWCNT 채널을 가진 센서의 제작공정
김경헌 ,  성영민 ,  장지웅 외 3명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.10 학술대회자료
간단한 조립 공정에 의해 배열된 SWCNT 채널을 가진 센서의 제작공정
김경헌 ,  성영민 ,  장지웅 외 3명 정보 및 제어 논문집 2010.10 학술대회자료

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포토리소그래피(photolithography) 공정만을 이용하여 단일벽 탄소 나노튜브 (single-walled carborn nanotube; SWCNT)가 실리콘 기판 위에 선택적으로 흡착되는 공정 방법이 이전에 보고되었다. 본 논문에서는 이 간단한 SWCNT 조립공정을 이용하여 전계효과 트랜지스터 (field emission transistor; FET)의 채널 형성 방법이 설명 되었다. 또한, 실제 제작된 SWCNT 기반 FET 소자의 전류 전압특성이 조사되었다. FET의 SWCNT 채널은 포토리소그래피 공 ... 전체 초록 보기

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