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In this paper, the output characteristics of PSD(Position Sensetive Detector) used in measurement system are described. Most of the precision measurment systems are accomplished by a laser diode(LD), a photo diode(PD) and PSD(Position Sensetive Detector), which are used in reflection of mirror or projection of infrared spectrometer. But it is especially restricted by resolution of PD and PSD in nano-measurement. A new inclined light methods into the PSD are employed in the surface measurement system for increasing the resolution. As the results, we can know that the output characteristics of detective senser (PSD) become more than 2 or 3 times by changing inclined angle(range: 5 degree) compared with common angle. In addition, the experiment results are confirmed that the change of inclined angle is not affecting to the linearity and repeating.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. PSD의 출력특성
3. 실험 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (9)
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1. [기타자료] - 정보통신연구진흥원 / / 나노 계측 기술 / 학술정보 - 주간기술동향 1166호
2. [기타자료] - 김승우 / 2002 / 나노테크놀로지와 정밀 공학 / 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
3. [학술지(정기간행물)] - Yoshikazu. Arai / 2009 / Scanning in situ self-calibration method of measurement / Int. J. of surface science and engineering 3 (3) : 195 ~ 207
4. [학술지(정기간행물)] - W. Gao / 2007 / An Improved Three-probe Method for Precision Measurement of straightness / Technisches Messen 76 (5) : 259 ~ 265
5. [단행본] - E. Teague / / Generating and measuring displacements up to 0.1m to an accuracy of 0.1nm : Is it possible?, Handbook- The Technology of Proximal Probe Lithography
2. [기타자료] - 김승우 / 2002 / 나노테크놀로지와 정밀 공학 / 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
3. [학술지(정기간행물)] - Yoshikazu. Arai / 2009 / Scanning in situ self-calibration method of measurement / Int. J. of surface science and engineering 3 (3) : 195 ~ 207
4. [학술지(정기간행물)] - W. Gao / 2007 / An Improved Three-probe Method for Precision Measurement of straightness / Technisches Messen 76 (5) : 259 ~ 265
5. [단행본] - E. Teague / / Generating and measuring displacements up to 0.1m to an accuracy of 0.1nm : Is it possible?, Handbook- The Technology of Proximal Probe Lithography
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