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최대영 (고려대학교) 장종현 (고려대학교) 박정호 (고려대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,557 - 1,558 (2page)

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This paper presents Teflon spin-coating conditions and their characteristics for efficient hydrophobic surface treatment. In order to deposit Teflon thin films on each Si substrate, Teflon-AF was diluted in a fluorocarbon solvent of FC-40 to 0.1, 0.2, 0.3, and 0.6 wt% concentration, and each diluted Teflon solution was spin-coated for 30 sec with various spin speeds of 1000, 2000, and 4000 rpm. Then ... 전체 초록 보기

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