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서재근 (한밭대학교) 고기한 (한밭대학교) 김재광 (한밭대학교) 안창호 (한밭대학교) 이상준 (한밭대학교) 김유진 (한밭대학교) 박문기 (LG디스플레이) 최원석 (한밭대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2010 대한전기학회 제41회 하계학술대회
발행연도
2010.7
수록면
1,353 - 1,354 (2page)

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본 연구에서는 금속 프리(Metal-free)한 탄소나노튜브(Carbon nanotubes: CNTs)를 성장시키기 위하여 마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착법(Microwave Plasma Ehanced Chemical Vapor Deposition: MPECVD)을 사용하였으며, 공정조건에 따른 CNTs의 수직 성장 특성을 조사하였다. 비정질 탄소(amorphous catalyst: a-C)층을 금속 프리 CNTs로 성장시키기 위한 촉매로 사용하였다. a-C은 ... 전체 초록 보기

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