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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
장원석 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제36권 제12호
발행연도
2012.12
수록면
1,171 - 1,176 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2012

수직성장된 탄소나노튜브의 선택적 패터닝
장원석 대한기계학회 논문집 B권 2012.12 학술저널
수직성장된 탄소나노튜브의 선택적 패터닝
장원석 대한기계학회 춘추학술대회 2012.05 학술대회자료

초록· 키워드

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실리콘 기판 위에 플라즈마 기상층착법을 이용하여 합성된 탄소나노튜브를 화학적인 방법이나 전자빔 혹은 이온빔과 같은 진공 챔버 내에서의 공정없이 펨토초레이저를 이용하여 선택적으로 패터닝 하는 방법을 구현하였다. 플라즈마 기상층착법으로 합성된 탄소나노튜브는 수직성장이 가능하며 탄소나노튜브 간의 간격을 조절하여 성장이 가능하다. 이러한 장점으로 전계방출소자, 바이오센서 등의 응용을 위하여 이용되는 합성 방법이다. 이러한 응용을 위하여 선택적으로 나노튜브를 제거하고 탄소나노튜브 끝의 촉매금속을 제거하는 것이 응용의 효율을 높이는데 매우 중요하다. 본 연구에서는 탄소나노튜브의 전기적, 구조적 특성에 영향을 줄 수 있는 화학적인 방법을 사용하지 않고 펨토초레이저를 사용하여 패터닝과 촉매금속을 제거하는 방법을 구현하였다.
#Carbon Nanotube(탄소나노튜브) #Femtosecond Laser(펨토초레이저) #Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition(플라즈마 기상증착)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 탄소나노튜브 합성 및 패터닝
3. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Xie, S. / 1991 / Mechanical and Physical Properties on CarbonNanotube / J. Phys. Chem. Solids. 61 (7) : 1153 ~ 1158 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Iijima, S. / 1991 / Helical Microtubules of Graphitic Carbon / Nature 354 (6348) : 56 ~ 57 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Dillon, A. C. / 1997 / Storage of Hydrogen in Single-Walled Carbon Nanotubes / Nature 386 (6623) : 377 ~ 378 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Lee, S. I. / 2005 / Complex Dynamics of Carbon Nanotube Probe Tips / Ultramicroscopy 103 (2) : 95 ~ 102 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Zhang, Y. / 2000 / Single-Wall Carbon Nanotubes Synthesized by Laser Ablation in a Nitrogen Atmosphere / Appl. Phys. Lett. 73 (26) : 3827 ~ 3829 google schola

이 논문의 저자 정보

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