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저자정보
한민희 (연세대학교) 한진 (연세대학교) 김태곤 (연세대학교) 민병권 (연세대학교) 이상조 (연세대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.8
발행연도
2010.8
수록면
84 - 90 (7page)

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2010

선택적 빔 차단을 통한 집속이온빔 가공 정밀도 향상
한민희 ,  한진 ,  김태곤 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2010.08 학술저널

2008

선택적 빔 차단을 통한 집속이온빔 가공 정밀도 향상
한민희 ,  한진 ,  민병권 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2008.11 학술대회자료

초록· 키워드

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In focused ion beam (FIB) fabrication processes the ion beam intensity with Gaussian profile has a drawback for high resolution machining. In this paper, the fabrication method to modify the beam profile at substrate using silt mask is proposed to increase the machining resolution at high current. Slit mask is utilized to block the part of beam and transmit only high intensity portion. A nano manipulator is utilized to handle the silt mask. Geometrical analysis on fabricated profile through silt mask was conducted. By utilizing proposed method, improvement of machining resolution was achieved.
#Slit Mask (슬릿 마스크) #Nano Fabrication (나노 가공) #Focused Ion Beam (집속이온빔)

목차

1. 서론
2. 실험 방법 및 결과
3. 슬릿 마스크를 이용한 가공 방법에 따른 가공 벽면(Sidewall)의 직각도 향상
4. 결론
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