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저자정보
양우석 (한국전자통신연구원) 문승언 (한국전자통신연구원) 이재우 (한국전자통신연구원) 김종대 (한국전자통신연구원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2010년 하계종합학술대회
발행연도
2010.6
수록면
1,988 - 1,991 (4page)

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Microsensors have been developing by technology convergence of semiconductor, MEMS and nano. MEMS microphone, iMEMS infrared image sensor and nano-MEMS gas sensor are currently prominent in industries. So, we are summarized their technology development trend and R&D results in ETRI.

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 국내외 기술동향
Ⅲ. ETRI 연구개발 성과
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌

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