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저자정보
박경태 (서울대학교) 정규환 (서울대학교) 김현철 (울산대학교) 전국진 (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2010년 하계종합학술대회
발행연도
2010.6
수록면
481 - 482 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

실리콘 나노와이어를 이용한 고감도 압력센서의 제작
박경태 ,  정규환 ,  김현철 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료
실리콘 나노와이어를 이용한 고감도 압력센서의 제작
박경태 ,  정규환 ,  김현철 외 1명 대한전자공학회 학술대회 2010.06 학술대회자료

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This paper presents a piezoresistive type pressure sensor which sensitivity is enhanced by using silicon nanowire. The silicon nanowire is fabricated by two cycles of anisotropic etching and spacer lithography. The diameter of na ... 전체 초록 보기

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김권규 ,  홍석준 ,  조현민 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015 .05

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