전자빔 응용 나노 가공기술

김재구 ,  이재종 ,  조성학 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .03

준 3차원 나노급 형상가공을 위한 전자빔의 전압별 노광 특성

김재구 ,  오승훈 ,  조성학 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

나노스케일에서의 가공 시 공구 형상에 따른 비절삭저항의 변화 분석

권예필 ,  김시훈 ,  곽지윤 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

DNA 나노기계의 제작과 응용

정철희

고분자 과학과 기술

2017 .04

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Impact of Propagation Delay and Nanomachine Position on the Synchronization Error Ratio

Ethungshan Shiti ,  i ,  Ho-Shin Cho

한국통신학회 학술대회논문집

2017 .06

Synchronization among Multiple Nanomachines for Simultaneous Targeted Drug Delivery

Tania Islam ,  Ethungshan Shiti ,  i 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2019 .01

전자빔 응용 나노가공 기술

이찬홍 ,  강재훈

한국공작기계학회지

2003 .07

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공

김인기 ,  노준석

기계저널

2017 .01

Utilization of Diffusive Double Layer to Lubrication Mechanism of Nanomachine

Takashi NAKANO ,  Satoshi MOMOZONO ,  Shin-ichi AIZAWA

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .10

Cationic Comb-type Copolymers to Boost DNA Nanomachine

Sung Won Choi ,  Naoki Makita ,  A 외 7명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

전자빔의 파라미터에 따른 노광특성 분석

오승훈 ,  김재구 ,  최두선 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .06

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Surface Topography on Silicon by AFM-based Nanomachining using PCD Tip

Jeong Woo Pa ,  k ,  Deug Woo Lee

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

Surface Topography on Silicon by AFM-based Nanomachining using PCD Tip

Jeong Woo Pa ,  k ,  Deug Woo Lee

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2009 .06

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01