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김혁순 (서울시립대학교) 노광철 (연세대학교) 성상철 (서울시립대학교) 오명도 (서울시립대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2010년도 하계학술발표대회
발행연도
2010.6
수록면
551 - 556 (6page)

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We performed numerical study using Computational Fluid Dynamics(CFD) on the characteristics of contaminant transfer in a clean space. In particular, this study was compared for the moving velocity of LCD panel and air velocity of Fan Filter Unit(FFU). We applied the number of deposited particles on the LCD　panel as method to evaluate the particle deposition characteristic. The study model is cleaning device that is used for one among the manufacturing process of LCD product. It is concluded that added FFUs in space is capable of maintaining lower deposition rate on the LCD panel and particle concentration than current space regardless of moving velocities of the LCD, and reversely decreasing the air velocity of FFUs is the better for decreasing deposition rate. Since increasing velocity of panel doesn't always reduce the deposition rate, optimal velocity is 0.24m/s. Thus, according to panel velocity and air velocity of FFUs, we can reduce the processing time and using the energy of FFUs.
#Cleanroom(클린룸) #Contamination Control(오염제어) #Particle Deposition(입자침착) #CFD(전산유체역학) #Lagrangian Method(라그란지안 방법)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 연구방법
3. 실험과 수치해석의 비교
4. 해석 결과
5. 결론
참고문헌

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