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학술대회자료
저자정보
박경진 (중앙대학교) 강성묵 (중앙대학교) 김호성 (중앙대학교) 백창욱 (중앙대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,503 - 1,504 (2page)

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2009

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박경진 ,  강성묵 ,  백창욱 외 1명 전기학회논문지 2009.11 학술저널
MEMS Gyroscope를 위한 feed-through 노이즈 제거 기법
박경진 ,  강성묵 ,  김호성 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.07 학술대회자료

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MEMS 구조물은 ㎛단위의 크기로 만들어지므로 각속도계와 같이 정밀한 센서를 만들 때에는 노이즈 문제를 해결하지 않으면 신호를 측정할 수가 없다. MEMS 구조물의 미세한 진동에 의해 발생되는 수 pico-coulomb의 전하를 측정해야하므로 구동 신호가 검출 전극에서 Feed-through되어 나타나는 경우 그 크기가 구동에 의한 신호보다 100배 이상 크기 때문에 원하는 신호를 검출할 수 없다.
본 논문에서는 이러한 Feed-through 현상에 의한 노이즈를 줄이기 위하여 Guard-ring을 이용한 blocking 방법과 dumm ... 전체 초록 보기

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