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논문 기본 정보

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셰드 (서울대학교) 김희상 (서울대학교) 라흐만 (서울대학교) 이종호 (서울대학교) 박병국 (서울대학교) 신형철 (서울대학교)
저널정보
대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 第47卷 SD編 第3號
발행연도
2010.3
수록면
1 - 6 (6page)

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Saddle MOSFET의 모서리의 효과에 대한 고전역학과 양자역학적 시뮬레이션의 비교분석을 3차원 수치 시뮬레이터를 사용하여 수행하였다. 비교분석 결과 양자역학적 시뮬레이션에서는 실리콘 핀의 단면에서의 정확한 최대 전자 밀도의 위치와 크기를 제공함으로써 소자의 정확한 설명을 제공하는 것을 보여 주었고, 이를 이용하여 모서리 효과 및 그것이 소자의 문턱전압의 특성을 미치는 영향의 정확한 분석이 실행되었다. 또한, 모서리 효과를 억제하기 위해서 실리콘 핀의 모서리를 둥글게 하거나 구석의 바디도핑을 낮추는 두 가지 가능한 기법을 제시했다.

목차

요약
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Device Structure and Simulations
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusion
References (참고문헌)
저자소개

참고문헌 (6)

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