지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2010.2
- 수록면
- 15 - 20 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 연구에서는 RF magnetron sputtering 법으로 기판온도 200 ℃ 에서 공정 압력 (5∼20 mTorr)과 산소 가스비 (0∼3 %) 를 변화시켜가며 PES 플라스틱 기판 위에 AZO (Al : 3 wt%) 박막을 제작하여 광학적 및 전기적 특성을 조사하였다. XRD 측정을 통해 공정 조건에 관계없이 모든 AZO 박막이 c 축으로 우선 성장함을 확인할 수 있었다. 박막의 표면을 AFM 으로 조사한 결과, 표면 거칠기 값은 공정압력 5 mTorr, 산소 가스비 3 % 에서 제작한 박막에서 가장 낮은 값 (3.49 ㎚) 을 나타내었다. 모든 AZO 박막이 가시광 영역에서 80 % 정도의 투과율을 보였으며, 공정 압력과 산소 가스비가 감소할수록 에너지 밴드갭이 증가하는 Burstein-Moss 효과를 관찰할 수 있었다. Hall 측정 결과, 공정 압력 5 mTorr와 산소 가스비 0 %에서 제작한 AZO 박막에서 가장 높은 캐리어 농도 2.63 × 10<SUP>20</SUP> ㎝<SUP>-3</SUP> 값과 가장 낮은 비저항 4.35 × 10<SUP>-3</SUP> Ω㎝ 값을 나타내었다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
AZO Films Prepared by Facing Target Sputtering System
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2006 .01
-
폴리머 기판 상에 제작한 AZO 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
-
고분자 기판상에 제작한 Al이 첨가된 ZnO 박막에 관한 연구
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2006 .01
-
산소 가스 유량비에 따라 제작한 AI이 도핑된 ZnO 박막
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
-
CIGS 태양전지의 윈도우 층에 적용 가능한 스퍼터링으로 증착한 AZO 박막의 공정압력의 영향에 따른 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
-
Reactive sputtering 법으로 증착된 AZO 박막의 전기적 및 구조적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2009 .01
-
투명전극용 AZO 박막의 막 두께 의존성
한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회
2005 .01
-
Electrical mechanism analysis of Al2O3 doped zinc oxide thin films deposited by rotating cylindrical DC magnetron sputtering
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .11
-
RF magnetron sputtering으로 증착한 AZO 박막의 타겟-기판 거리의 영향에 의한 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
-
AZO Anode 전극을 적용한 OLED 소자의 제작과 전기적？광학적특성 분석
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
급속 열처리 온도 변화에 따른 AZO 박막의 구조, 전기 및 광학적 특성
전기전자재료학회논문지
2010 .01
-
Al-doped ZnO 투명 전도성 박막(TCO)의 전기적 광학적 특성
반도체및디스플레이장비학회지
2007 .01
-
RF 파워에 따라 스퍼터된 Al doped ZnO 박막의 구조적, 광학적, 전기적 특성
전기전자재료학회논문지
2011 .01
-
RF magnetron sputter에 의해 제조된 AZO/Ag/AZO 다층박막의 Ag 두께가 전기적 광학적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2006 .02
-
RF 파워에 따른 상온에서 합성한 AZO 투명전도막의 특성분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
-
Properties of AZO/Ag/AZO Multilayer Thin Film Deposited on Polyethersulfone Substrate
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2013 .01
-
PES 기판상에 증착된 AZO 박막의 특성
전기전자재료학회논문지
2007 .01
-
Textured-AZO/AZO/Glass 투명전극을 갖는 염료감응 태양전지의 광전변환 특성
전기전자재료학회논문지
2012 .01
-
증착온도에 따른 AZO 박막의 전기적, 광학적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .07
-
투입전류 변화에 따라 실온 제작한 AZO 박막의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .07
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
정규 구간선형 모델과 볼테라 모델을 기반한 Super-RENS 시스템 모델링 및 등화
서만중
,
심희성
,
임성빈
전자공학회논문지-TC
2010
.02
공정 압력에 따라 스퍼터된 Al 도핑 ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성
김덕규
,
김홍배
Applied Science and Convergence Technology
2013
.09
마그네트론 스퍼터를 이용한 Ar 가스 유량 조절에 따른 AZO의 특성 변화
이승진
,
정영진
,
손창식
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2011
.11
산소 가스 유량비에 따라 제작한 AI이 도핑된 ZnO 박막
조범진
,
금민종
,
김경환
대한전기학회 학술대회 논문집
2006
.10
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2010-569-002269495