Sputtering technique for magnessium oxide thin films

최영욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최영욱

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 대한전기학회 제37회 하계학술대회 논문집 C

발행연도: 2006.7

수록면: 1,560 - 1,561 (2page)

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A high rate deposition sputtering process of magnesium oxide thin film in oxide mode has been developed using a 20 ㎾ unipolar pulsed power supply. The power supply was operated at a maximum constant voltage of 500 V and a constant current of 40 A. The pulse repetition rate and the duty were changed in the ... 전체 초록 보기

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최영욱

소속기관 안산 한국전기연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 의약학 > 임상의학 > 방사선과학

논문수 48 이용수 1,743

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