IC용 초정밀 박막저항소자의 제조와 특성연구

하홍주 ,  장두진 ,  문상용 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

스퍼터로 성장된 알루미늄 박막의 공정 변수와 박막 두께에 따른 물성

오일권 ,  윤창모 ,  장진욱 외 1명

한국재료학회지

2016 .01

Sputtering technique for magnessium oxide thin films

최영욱

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

자성박막 제작용 대향타겟식 스퍼터 장치에 관한 연구

김경환 ,  송기봉 ,  손인환 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

태양전지 응용을 위한 고품위 및 저가격 ZnO 박막 제조에 관한 연구

이재형

한국정보통신학회논문지

2010 .01

Sputtering of Magnesium Oxide this film for Plasma Display Panel Application

최영욱 ,  김지현

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

농도경사 TiB_2xN_l-x 박막의 제조 및 평가

이승훈 ,  남경희 ,  이정중

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05

스퍼터 가스가 GZO 박막 물성에 미치는 영향

박이섭 ,  이승호 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

마그네트론 스퍼터법으로 제조된 CdS 박막의 물성에 미치는 기판온도 효과

서문수 ,  박용섭 ,  이재형

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .05

스퍼터 증착된 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성거동과 박막특성

선건주 ,  김상섭

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

스퍼터법으로 증착된 몰리브데늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

대향타겟식 스퍼터를 이용한 AZO 박막의 플라즈마 변수와 수소 가스 유량에 따른 효과

심병철 ,  김성일 ,  최윤석 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

630 스테인리스강 위에 스퍼터 증착한 SiO₂ 박막의 절연저항에 관한 연구

박태순 ,  이성래 ,  김정완

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1997 .05

The Magnetic Characteristics of Co-Cr Thin Films Deposited by Facing Targets Sputtering

K. H. KIM ,  I. H. SON ,  M. H. KIM 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

폴리이미드 위에 스퍼터 증착된 구리 박막의 미세구조

정태경 ,  김영호 ,  유진

한국표면공학회지

1992 .02

폴리이미드 위에 스퍼터 증착된 구리 박막의 미세구조

정태경 ,  유진 ,  김영호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1992 .05

DCS Post Flow 가 WSi_x 박막 특성에 미치는 영향

鄭陽喜 ,  姜聲俊 ,  姜喜淳

전기학회논문지 C

2003 .04

결정상에 대한 고용체가 Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_x(n=0, 1, 2) 박막의 특성에 미치는 영향

양승호 ,  이호식 ,  박용필

한국정보통신학회논문지

2007 .06

상온에서 분말타겟의 스퍼터에 의해 증착된 ITO박막

김현후 ,  이재형 ,  신성호 외 2명

한국표면공학회지

2000 .10