MEMS용 Si 소재의 온도에 따른 탄성 특성 변화에 관한 연구

정성훈 ,  이세호 ,  이성훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

Mechanical Characterization of Micro-Sized Materials

Takashima ,  K.

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요

최창경 ,  도덕희

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

MEMS ( Micro Electro Mechanical System ) 기술의 동향

신상모

전자공학회지

1997 .10

정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가

김동원 ,  김종진 ,  정증현 외 3명

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

마이크로 구조의 표면응력 변화에 따른 공진주파수 민감도

이수일 ,  강상욱

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2011 .04

MEMS 기반 수직형 Probe 용 Micro scale Ni-Co 소재의 열에 의한 기계적 특성 변화

김승재 ,  이명우 ,  김윤재 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

강선 표면 미세결함 탐상을 위한 전자기음향공진 기법 개발

조승완 ,  조승현 ,  허태훈 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2013 .12

[특집 ： MEMS 기술] 초미세 전자기학 기술의 소개와 Micro-Channel의 제조와 응용

서덕봉

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

MEMS 재료의 기계적 물성에 관한 미세조직학적 연구

홍순형 ,  김희연 ,  이학주 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2005 .05

강제 진동레벨에 따른 공진주파수 변화의 실험적 고찰

이병욱 ,  백세웅 ,  박성용 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2015 .10

MEMS-based 마이크로 터보기계의 개발 ( Development of MEMS-based Micro Turbomachinery )

박건중 ,  민홍석 ,  전병선 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

[연구정보] MEMS 유체기계

조형희 ,  우성제

한국유체기계학회 논문집

2001 .12

MEMS 기술

엄태준

기계저널

2007 .05

주파수 응답 시험 장비의 공진 설계 및 검증

정성락 ,  윤성호

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2018 .04

정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가

김동원 ,  이세호 ,  이낙규 외 2명

소성·가공

2002 .11

MEMS 기술과 정밀기계산업

나경환 ,  박훈재 ,  오수익 외 2명

전자공학회지

2001 .03

비공진영역과 공진영역에서의 능동 제어를 통한 판의 진동 국부화

유호민 ,  김기현 ,  왕세명 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2013 .04

마이크로위성 탑재를 위한 MEMS 추력기의 환경시험

한성현 ,  강수진 ,  장수은 외 3명

한국추진공학회 학술대회논문집

2014 .12

3점 공진을 위한 공진 회로 설계

신한호 ,  김현동 ,  전성즙

대한전기학회 학술대회 논문집

2020 .07