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대한기계학회 대한기계학회 기타 간행물 2002년도 기계관련 산학연 연합심포지엄 강연 및 논문 초록집
발행연도
2002.11
수록면
107 - 112 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2002

정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가
김동원 ,  이세호 ,  이낙규 외 2명 소성·가공 2002.11 학술저널
정전기력 구동소자를 이용한 MEMS 소재의 탄성특성 및 미세파손특성 평가
김동원 ,  김종진 ,  정증현 외 3명 대한기계학회 기타 간행물 2002.11 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. MEMS 기반 엑츄에이터 소자를 응용한 마이크로 소재의 특성 평가 기술
3. 결론
후기
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