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저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2001년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집 C
발행연도
2001.7
수록면
1,890 - 1,892 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

SDB와 전기화학적 식각정지에 의한 블크 마이크로머신용 3차원 미세구조물 제작
정연식 ,  정귀상 대한전기학회 학술대회 논문집 2001.07 학술대회자료
전기화학적 식각정지에 의한 SDB SOI의 박막화
정연식 ,  정귀상 대한전기학회 학술대회 논문집 2001.07 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 매몰 cavity를 갖는 SDB SOI 구조의 제작
3. 결과 및 고찰
4. 결론
[참고문헌]

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