Si 모재 위의 Si_(x)Ge_(1-x) 박막에서 부정합 전위와 임계두께에 관한 연구 ( Study on Misfit Dislocations and Critical Thickness in a Si_(x)Ge_(1-x) Epitaxial Film on a Si Substrate )

신정훈 ,  김재현 ,  엄윤용

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .06

EFFECT OF THE ROUGHNESS OF SUBSTRATE SURFACE ON LOW-TEMPERATURE SILICON EPITAXIAL GROWTH

Kwon ,  Sung-Ku ,  Kim 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

GaAs Epi층의 온도의존성 ( Substrate Temperature Dependence of GaAs Epitaxial Layer )

강태원 ,  정관수 ,  이재진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

성장 온도에 따른 GaAsP/GaP Epitaxial Layer의 특성

이은철 ,  라용춘 ,  엄문종 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

METALLURGICAL ISSUES IN COPPER-BASED METALLIZATION

Lin ,  C.S.

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

기판조건에 따른 Co/Zr 이중층을 이용한 epitaxial CoS$Si_{2}$ 성장 및 특성연구

김동욱 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Metal Epitaxial Layer by MBE

Kang ,  T.W.

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

I2L의 n-epi 두께에 따른 접합용량에 관한 연구 ( A Study on Junction Capacitance Of I2L According To N-Epi Layer )

이선희 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

MBE에 의한 Ge epitaxial layer 성장

임재영 ,  이철로 ,  노삼규 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RECENT ADVANCES IN SILICON EPITAXIAL GROWTH FOR ADVANCED DEVICE STRUCTURES

John Ogawa Bo ,  land

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Si_1-xGe_x/Si에피택셜층의 건식산화동안 Ge 재분포

신창호 ,  김태형 ,  김재범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Parametric study of the process parameters on the Si epitaxial growth

Imama Zaidi ,  Dong Guk Ko ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

Carrier lifetimes of amorphous/crystalline silicon substrates with the high-low junction

이준성 ,  권순우 ,  강민구 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2008 .10

Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD

Woo-Seok Cheong

[ETRI] ETRI Journal

2003 .12

Growth of Epitaxial CoSi2 using Co / Ti / Si System

김기범 ,  윤동수 ,  백홍구 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01