MEMS ( Micro Electro Mechanical System ) 기술의 동향

신상모

전자공학회지

1997 .10

Bio-MEMS : MEMS 기술의 의료 및 생물학 응용

장준근 ,  정석 ,  한동철

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2000 .07

BIO-MEMS

이진우 ,  주병권 ,  강지윤 외 1명

전기의세계

2006 .10

A Study on Modeling and Simulation of Electro-statically Driven Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)

Ho-mun Si ,  Ohseob Kwon ,  Chongdu Cho

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

Bio-MEMS분야의 최근 연구동향

박세광 ,  양주란

센서학회지

2010 .01

[특집 ： MEMS 기술] MEMS 기술의 개요

최창경 ,  도덕희

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

의료 및 생물학에 응용되는 MEMS 기술

장준근 ,  정석 ,  한동철

소성·가공

2002 .04

[특집 ： MEMS 기술] 초미세 전자기학 기술의 소개와 Micro-Channel의 제조와 응용

서덕봉

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2005 .07

Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies

Li ,  G.P. ,  Bachman 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium

2004 .01

Recent Trend of MEMS and Nano Manufacturing in AIST

Ryuta ,  o Maeda

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구

허신 ,  정영도 ,  이영화 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

위성 소형화를 위한 초미세 전기기계시스템(MEMS)의 기술개발 현황

이인택 ,  김대원 ,  이호영 외 1명

한국항공우주학회지

2005 .05

MEMS-based 마이크로 터보기계의 개발 ( Development of MEMS-based Micro Turbomachinery )

박건중 ,  민홍석 ,  전병선 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

마이크로위성 탑재를 위한 MEMS 추력기의 환경시험

한성현 ,  강수진 ,  장수은 외 3명

한국추진공학회 학술대회논문집

2014 .12

Design and analysis in Bio-MEMS/microfluidics

Seungoh Han

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .04

의료에서의 센서와 MEMS 기술 응용

이상훈

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

[테마기획/Bio-MEMS 기술]마이크로 채널 내부 유동해석을 위한 마이크로 PIV측정기술

이상준

기계저널

2003 .02

MEMS에서의 마이크로 가공기술 ( Micromachining Technologies of MEMS )

김창진

대한기계학회지

1993 .06

MEMS 기술

엄태준

기계저널

2007 .05

[테마기획/Bio-MEMS 기술]바이오 칩(Bio-Chip)

김경천 ,  김형훈

기계저널

2003 .02