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MEMS ( Micro Electro Mechanical System ) 기술의 동향
전자공학회지
1997 .10
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
A Study on Modeling and Simulation of Electro-statically Driven Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
초소형 MEMS 마이크로폰의 제작공정 및 기전특성 측정 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
[특집 : MEMS 기술] 초미세 전자기학 기술의 소개와 Micro-Channel의 제조와 응용
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
MEMS/Nano 기술에 의한 기계기술의 변화
기계저널
2001 .07
위성 소형화를 위한 초미세 전기기계시스템(MEMS)의 기술개발 현황
한국항공우주학회지
2005 .05
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
설비 기술 분야의 MEMS/Nano 기술 적용
설비저널
2008 .07
The Estimation of MEMS Properties
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2008 .01
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
나노전기기계 메모리 시뮬레이터의 개발
전자공학회논문지
2012 .10
마이크로위성 탑재를 위한 MEMS 추력기의 환경시험
한국추진공학회 학술대회논문집
2014 .12
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies
한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium
2004 .01
생산기술로서의 MEMS
기계저널
2009 .03
MEMS 기술의 소개 및 응용
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
MEMS 기술의 광학적 응용
한국통신학회 기타 간행물
2001 .10
MEMS 기술동향
전기의세계
2006 .10
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