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학술대회자료
저자정보
김경환 (강원대학교) 최종필 (강원대학교) 김병희 (강원대학교) 서영호 (강원대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2009년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2009.11
수록면
1,160 - 1,164 (5page)

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This paper presents a micro pneumatic distance sensor using a ring-type nozzle and built-in pressure sensor. Conventional pneumatic distance sensors (air gap sensor) consisted of cylindrical nozzle and pressure sensor. The gap between nozzle and object is monitored by measuring the change of air flow resistance. The gap must be shorter than a quarter of the nozzle diameter in order to measure the change of air flow resistance. In this paper, ring-type nozzle was used instead of a cylindrical nozzle in order to increase measurable distance between nozzle and object. When air is supplied through the ring-type nozzle, air is reflected from the object. By measuring pressure of the reflected air, the distance could be estimated. Presented device had a piezoresistive pressure sensor at the center of the ring-type nozzle which was fabricated by MEMS process. Pressure of the reflected air was measured in order to evaluate measurable range and sensitivity of the fabricated device.
#Distance Measurement(거리 측정) #Ring-type Nozzle(링형 노즐) #Reflected Air Pressure(반사 공압)

목차

Abstract
1. 서론
2. 기본구조 및 동작원리
3. 설계 및 제작공정
4. 실험 및 토의
5. 결론
후기
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