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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험 및 특성 평가
3. 결론
참고문헌
저자소개
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방전여기 XeCl 엑시머레이저의 제작 및 동작특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
방전여기형 XeCl 엑시머 레이저의 제작 및 동작 특성
전기학회논문지
1994 .10
이중 활성층 ( a-Si/a-SiNx ) 의 XeCl 엑시머 레이저 어닐링 효과 ( Excimer Laser Annealing Effects of Double Structured Poly-Si Active Layer )
전자공학회논문지-D
1998 .06
이온 주입과 엑시머 레이저 조사에 의해 동시에 제작된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
반도체 노광공정에 이용되는 엑시머 레이저의 기술 현황 및 시장 동향
광학세계
2002 .01
비정질 실리콘 박막에서 엑시머 레이저에 의한 붕소이온의 수평확산
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
엑시머 레이저
전기의세계
2000 .01
금속 유도 엑시머 레이져 어닐링을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .07
N₂O 플라즈마 전처리와 엑시머 레이저 어닐링을 통한 150° C 공정의 실리콘 산화막 게이트 절연막의 막질 개선 효과
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .10
3. 엑시머레이저 국내외 시장 동향 - 큰 에너지 가진 자외선 펄스 만들어 미세가공 분야 탁월한 성능 예상
광학세계
2001 .01
엑시머 레이저를 이용하여 동시에 형성된 실리콘 산화막과 다결정 실리콘 박막 ( Silicon Oxide and Poly - Si Film Simultaneously Formed By Excimer Laser )
전자공학회논문지-D
1997 .01
급속열처리와 엑시머 레이저에 의해 형성된 다결정 실리콘 박막에서 열처리 방법에 따른 박막의 특성변화
한국재료학회지
1997 .01
엑시머 레이저 어닐링 (ELA) 기술 및 메커니즘에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .11
전자빔 여기 KrF/XeCl 레이저의 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
1987 .07
전자빔 여기 KrF / XeCl 레이저의 개발 ( Development of Electron-Beam Excited KrF / XeCl Lasers )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
전자빔 여기 KrF 및 XeCl 레이저의 반응기구 해석 ( Analysis Of Reaction Kinetics For E-Beam KrF And XeCl Lasers )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
PES 기판위에 Sputter로 증착된 비정질 실리콘 박막의 레이저 결정화
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
유전자 알고리즘을 이용한 엑시머 레이저가공의 최적조건 선정
한국생산제조학회지
2002 .12
새로운 방법에 의한 비정질 실리콘의 제작
한국태양에너지학회 학술대회논문집
1989 .05
엑시머 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 가공 모델링 및 시뮬레이션
한국생산제조학회지
2004 .02
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