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저자정보
吳海寬 (아주대학교) 金泰儇 (아주대학교) 李基根 (아주대학교) 王文 (아주대학교) 梁翔植 (아주대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제56권 제8호
발행연도
2007.8
수록면
1,430 - 1,435 (6page)

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We developed a 440㎒ surface acoustic wave (SAW) microsensor integrated with pressure-temperature sensors and ill tag. Two piezoelectric substrates were bonded, in which ~150 ㎛ cavity was structured. Four sides were completely sealed by JSR photoresist (PR). Pressure sensor was placed on the top substrate, whereas ill tag and temperature sensor were placed on the bottom substrate. Using network analyzer, the developed microsensor was wirelessly tested. Sharp reflection peaks with high SIN ratio, small signal attenuation, and small spurious peaks were observed. Ail the reflection peaks were well matched with the coupling of mode (COM) simulation results. With a 10㎽ RF power from the network analyzer, a ~1 meter readout distance was observed. Eight sharp ON reflection peaks were observed for ill tag. Temperature sensor was characterized from 20℃ to 200℃. A large phase shift per unit temperature change was observed. The evaluated sensitivity was ~10 °/℃.
#Surface Acoustic Wave(SAW: 표면탄성파) #Temperature Sensor #Pressure Sensor #RFID Tag #Coupling of Modes(COM) #Finite Element Methods(유한요소법)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경(Theoretical Background)
3. 제작 및 무선 측정 시스템
4. 결과
5. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (13)

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1. [학술지(정기간행물)] - / 2004 / Wireless passive SAW identification marks and sensors : 21 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / Integration of a surface acoustic wave biosensor in a microfluidic polymer chip 22 : 227 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 2001 / A multi-resolution passive SAW chemical sensor 76 : 130 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 1998 / A wireless AQP pressure sensor using chirped SAW delay lines structures : 355 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2001 / Optimized design and fabrication of a wireless pressure and temperature sensor unit based on SAW transponder technology : 355 ~ google schola

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