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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
李㡾瑩 (대림대학) 李雨哲 (을지대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제56권 제11호
발행연도
2007.11
수록면
1,967 - 1,971 (5page)

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In this paper, we verified basic forms and equivalent circuits of spiral inductors and various kinds of parasitics of equivalent circuits by using HFSS and Nexxim program that were 3-D EM analysis tools, and fabrication on-chip spiral inductors using Hynix's 0.25㎛ 1-poly and 5-metal CMOS process. Comparing with PGS(patterned ground shield) and NPGS(non patterned ground shield) of spiral inductors of 3.5 turn, 4.5 turn and 5.5 turn, etc, the application of PGS could improve maximum Q value by 8-12%.
#PGS #Spiral Inductor #On-chip #Q-factor #CMOS

목차

Abstract
1. 서론
2. 나선형 인덕터 해석
3. On-chip 나선형 인덕터 제작
4. 실험 및 결과
5. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - C.Yuen / 1996 / A 20GHz MMIC Power Module for Transmit Phased Array applications : 1163 ~ 1166 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - C. Patrick Yue / 2000 / Physical Modeling of Spiral Inductors on Silicon 47 (3) : 560 ~ 568 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Hyunjin Lee / 2002 / Optimization of spiral inductors on silicon substrate : 49 ~ 52 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - C. Patrick Yue / 1998 / On-Chip Spiral Inductors with Patterned Ground Shields for S-based RF IC’s 33 (5) : 743 ~ 752 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - A / 1942 / Formulas for the skin effect : 412 ~ 424 google schola

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