CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Al-Al₂O₃-Si (N型)의 MAS 構造에 있어서 高電界에 의한 Carrier 注入과 트랲에 관한 研究

李英姬 ,  朴成熙

전기학회논문지

1986 .10

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

수면호흡장애 환자의 인공지능 기반 심혈관질환 예측 모델

박종욱 ,  류지승 ,  강승영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

초음파를 이용한 CVD 다이아몬드 평가기법

김훈희 ,  송성진 ,  김학준

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

CVD 방식 그래핀 코팅의 구조적 특성과 물성

올릭세이 펜코브 ,  김현준 ,  김대은

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

고주파 발진기를 이용한 CVD 장치의 제작 및 평가 ( Fabrication and Evaluation of CVD System using R. F. Generator )

김정회 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

450mm 반도체 CVD 장비 및 300mm F-CVD 공정용 8kW급 주파수 가변형 RF Generator 개발

김대욱 ,  양대기 ,  안영오 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2014 .07

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

이종명 ,  황철성 ,  석창길 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Purification of Si using Catalytic CVD

조철기 ,  이경섭 ,  송민우 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .11

플라즈마 처리에 따른 CVD 그래핀의 전하 농도 및 이동도 변화에 관한 연구

최민섭 ,  문인용 ,  임영대 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

CVD Cu의 핵생성 및 성장에 관한 연구

한성희 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Al 배선 형성을 위한 화학증착법과 물리증착법의 조합 공정에 관한 연구

이원준 ,  김운중 ,  나사균 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

집속이온빔 화학 증착을 위한 가스 공급기의 제작 및 평가

이강인 ,  안성훈 ,  이장엽 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

Laser CVD SiO₂막의 제특성

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .06

Laser CVD SiO2 막의 제특성 ( Characteristics of Laser CVD SiO2 Films )

박종욱 ,  김용우 ,  권봉재 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .07