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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 열공학부문/유체공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.4
수록면
19 - 22 (4page)

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In these days, the importance of thermal properties measurement for many kinds of materials becomes increasing since those are applied to a vast range of industries. This study considered non-contact methods which could reduce the error like thermal resistance and was unnecessary destruction of samples. Among them, the method using photothermal effect was used to measure thermal properties. The photothermal deflection method is suited to thermal property measurement of thin film samples that have the multi layer structure since the probe beam is not directly reflected to samples. Aluminum film, TiO₂ film and Si₃N₄ film with micro/nanometer thickness were selected as the subject of study and thermal conductivities of them were measured. Samples with many kinds of thickness for each materials were prepared to measure thermal conductivities variation depending on their thickness. And it was observed that thermal conductivity was reduced as the thickness was reduced.
#Photothermal Effect(광열효과) #Thin Film(박막) #Non-contact method(비접촉) #Thermal Conductivity(열전도 계수) #Multi-layer(다층구조)

목차

Abstract
1. 서론
2. 이론 및 측정원리
4. 측정 및 결과
5. 결론
참고문헌

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