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저자정보
김영진 (한국과학기술연구원) 유준호 김승우
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.6
수록면
85 - 86 (2page)

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Low-coherence interferometry and absolute distance measurement system are exploited for the high speed 3-D inspection of complex patterns on products of large area. In terms of low-coherence interferometry, emphasis is on configuring an optimum optical hardware design to deal with large complex patterns up to a few hundreds micrometers of height. For the a ... 전체 초록 보기
#large area(대면적) #low-coherence interferometry(저결맞음 간섭계) #absolute distance measurement(절대거리 측정)

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