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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.8 No.4
발행연도
2007.10
수록면
22 - 26 (5page)

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We describe a new way of implementing absolute displacement measurements by exploiting the optical comb of a femtosecond pulse laser as a wavelength ruler. The optical comb is stabilized by locking both the repetition rate and the carrier offset frequency to an Rb clock of frequency standard. Multiwavelength interferometry is then performed using the quasi-monochromatic beams of well-defined generated wavelengths by tuning an external cavity laser diode consecutively to preselected light modes of the optical comb. This scheme of wavelength synthesizing allows the measurement of absolute distances with a high precision that is traceable to the definition of time. The achievable wavelength uncertainty is 1.9×<SUP>-10</SUP>, which allows the absolute heights of gauge blocks to be determined with an overall calibration uncertainty of 15 nm (k = 1). These results demonstrate a successful industrial application of an optical frequency synthesis employing a femtosecond laser, a technique that offers many possibilities for performing precision length metrology that is traceable to the well-defined international definition of time.
#Interferometry #Distance #Calibration

목차

1. Introduction
2. Basic Principles
3. Experiment
4. Conclusions
ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCES

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
, 2007 , Phase Modulation Homodyne Interferometer with a 10-pm Resolution Using a Tunable Laser Diode 8 (2) : 80 ~ 84 google schola , 2004 , Pitch Measurement of 150 nm 1D-grating Standards Using an Nano-metrological Atomic Force Microscope 5 (3) : 19 ~ 25 google schola , 2006 , Portable Calibration System for Displacement Measuring Sensors 7 (2) : 56 ~ 59 google schola , 1993 , Recent advances in displacement measuring interferometry google schola , 1986 , Distance measurement by the wavelength shift of laser diode light google schola

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