X-선 리소그래피공정의 무기물 입도에 따른 격벽 형상정밀도 특성

류승민; 김동주; 한만회; 양동열; 이승섭; 박이순

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 류승민 김동주 한만회 양동열 이승섭 박이순

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2007년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2007.6

수록면: 183 - 184 (2page)

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