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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제42권 제2호
발행연도
2009.4
수록면
86 - 94 (9page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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Various types of multilayer coatings including Al/Al₂O₃ structure have been prepared on Nd-Fe-B permanent magnet to modify the morphology of the coating and to enhance the corrosion resistance of the magnet. Magnetron sputtering has been employed to make the multilayer coatings. Al₂O₃ sputtering conditions were optimized in reactive sputtering by varying the deposition parameters. The formation of Al₂O₃ film was confirmed from the binding energy shift measured by electron spectroscopy for chemical analysis. 3 types of coating structures were designed and prepared by magnetron sputtering. The coating structures consist of (1) single Al coating, (2) modified coatings having oxide or plasma treated layer in the middle of coating structure, and (3) Al/Al₂O₃ multilayer coatings. Surface and cross-sectional morphologies showed that Al/Al₂O₃ multilayer grew as a layered structure, and that very compact Zone 3 like structure were formed. Xray diffraction peak showed that the crystal orientations of multilayer coatings were similar to that of the bulk powder pattern. Hardness increased drastically when the Al thickness was around 1im in the Al/Al₂O₃ multilayer. From the salt spray test and pressure cooker test, it has been shown that the multilayer coatings showed good corrosion resistance compared to Al single or modified layer coatings.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (25)

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