Surface Physical Properties of W-C-N Diffusion Barrier Measured by Scanning Probe Microscope and Nano Indentation System

Soo In Kim; Chang Woo Lee

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Soo In Kim Chang Woo Lee

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 INTERFINISH 2008

발행연도: 2008.6

수록면: 403 - 403 (1page)

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#Scanning Probe Microscope #Nano Indentation #W-C-N thin film #Diffusion barrier

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Soo In Kim

소속기관 Kookmin University

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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Chang Woo Lee

소속기관 한국표면공학회

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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