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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.17 No.4
발행연도
2008.8
수록면
75 - 80 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

3차원 측정기를 위한 원자간력 프로브 성능 연구
정판곤 ,  배규현 ,  홍성욱 한국생산제조학회지 2008.08 학술저널

2007

3차원 측정기용 접촉식 프로브와 원자간력 프로브의 비교
정판곤 ,  배규현 ,  박상원 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper presents an atomic force probe for triggering coordinate measuring machines(CMMs). A rigorous comparison is made between touch trigger probe and atomic force probe for CMMs. Typical CMMs(touch trigger probe based CMMs) often lead to some errors associated with object curvature and difference in triggering sensitivity. Their applicability is limited only to hard objects. The aim of this work is to develop a trigger sensor for CMMs using atomic force. In order to show the applicability of atomic force as a trigger sensor, a cylindrical shape is measured with a CMM and an atomic force microscope. Three different touch probe heads with different ball sizes are tested. The experiments show that smaller ball provides better results for curved objects. The experimental results also show that the performance of atomic force as a trigger sensor is about that of the smallest ball probe. In addition, experiments are also performed to measure soft objects. Finally, this paper suggests and verifies a trigger sensor using atomic force for CMMs.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Coordinate Measurement Machine(3차원측정기) #Contact Measurement (접촉식 측정) #Shape measurement(형상측정) #Cylindrical shape(실린더형상) #Soft lens(소프트렌즈)

목차

Abstract
1. 서론
2. 측정시스템의 개념
3. 실험 및 결과
4. 원자간력을 이용한 트리거용 프로브
5. 요약 및 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Song K. S. , 2003 , A study of development for contact CMM probe using three-component force sensor , Journal of the KSPE 20 (8) : 101 ~ 107 google schola Cho N. G. , 1999 , An Error Compensation in Rough Surface Measurement by Contact Stylus Profilometer , Trans. KSMTE 8 (1) : 126 ~ 134 google schola Hong S. W. , 2005 , Development of a measurement system for the surface shape of micro-parts by using atomic force microscope , Trans. KSMTE 14 (6) : 22 ~ 30 google schola Shin Y. H. , 2006 , A spherical shape measurement by using atomic force microscope , Proc. of the 2006 KSMTE Fall conference : 196 ~ 201 google schola Hong S. W. , 2006 , Shape measurement for meso-scale objects using atomic force microscope , The 2nd International Conference for Positioning Technology : 128 ~ 131 google schola

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