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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 정밀 이송기구와 유니몰프 PZT
3. 정밀 이송기구의 설계
4. 실험결과 및 검토
5. 결론
후기
참고문헌
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유니몰프 PZT 액츄에이터를 이용한 평면 마이크로 이송장치 개발
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PZT 액추에이터를 이용한 위치결정용 정밀스테이지의 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
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PZT 액추에이터를 이용한 ㎜범위의 위치결정용 정밀스테이지의 개발
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2008 .03
PZT를 이용한 초정밀 회전 구동기에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .05
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2006 .03
PZT 액튜에이터 제어기의 성능측정 및 특성해석
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2003 .05
압전 액츄에이터를 이용한 초정밀 위치제어장치 개발
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2002 .10
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2007 .11
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한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
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PZT Actuator Scan을 위한 제어시스템개발
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2012 .04
PZT-5A 탐촉자의 특성 분석
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1997 .07
PZT를 이용한 광 정보저장기기용 액추에이터의 트랙 추적제어
한국소음진동공학회논문집
2004 .05
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2008 .06
마이크로 압전 엑츄에이터용 후막 PZT의 제조 및 특성
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
압전 액추에이터용 압력 레귤레이터
대한기계학회 춘추학술대회
2006 .06
초정밀 이송용 PZT 앰프 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2008 .05
PZT(10/90)/PZT(90/10) 이종층 박막의 구조적, 전기적 특성
전기학회논문지 C
2000 .02
PZT actuator를 이용한 외팔보의 능동진동제어
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2008 .11
적층형 압전 마이크로밸브의 압력 레귤레이팅 기술
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2004 .12
PZT 액추에이터를 이용한 로터계 동기진동의 강인제어 ( Robust Control of Synchronous Vibration of a Rotor System with PZT Actuator )
대한기계학회 논문집 A권
2002 .04
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