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저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제41권 제2호
발행연도
2008.4
수록면
43 - 47 (5page)

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Cubic boron nitride(c-BN) films were deposited on tungsten carbide insert tool by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition(MPECYD) from a gas mixture of triethyl borate(B(C₂H?O)₃, ammonia (NH₃), hydrogen(H₂) and argon(Ar). The qualities of deposited thin film were investigated by x-ray diffraction(XRD), field emission scanning electron microscopy(FE-SEM) and micro Raman spectroscope. The surface morphologies of the synthesised BN as well as crystallinity appear to be highly dependent on the flow rate of B(C₂H?O)₃ and NH₃ gases. The deposited film had more crystallized phases with 5 seem of B(C₂H?O)₃ and NH₃ gases than with 2 seem, and the phase was identified as c-BN by micro Raman spectroscope and XRD. The adhesion strength were also increased with increasing flow rates of B(C₂H?O)₃ and NH₃ gases.
#Insert Tool c-BN Film #MPECVD(Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Thiethyl Borate #Adhesion

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Eli R. C. DeVries / 1991 / Diamond and Diamond-Like Films and Coatings / Plenum Press : 151 ~ google schola 2. [단행본] - J. H. Edgar / 1994 / Properties of Group III NitT'ides / INSPEC google schola 3. [학술지(정기간행물)] - W. J. Zhang / 2003 / / MRS Bull 28 : 184 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - P. B. Mirkarimi / 1997 / / Mater Sci. Eng R21 : 47 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - S. N. Mohammad / 2002 / / Solid State Electron 46 : 203 ~ google schola

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