화학 증착법에 의한 TiC/TiCN 다층박막의 다층주기 변화에 따른 구조적, 기계적 특성

박근우; 권혁상

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저자정보: 박근우 권혁상

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2000년도 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2000.5

수록면: 11 - 12 (2page)

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