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저널정보
대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.7 No.3
발행연도
2007.9
수록면
183 - 195 (13page)

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MEMS technology is proven to be an enabling technology to realize many components for optical networking applications. Due to its widespread applications, VOA has been one of the most attractive MEMS based key devices in optical communication market. Micromachined shutters and refractive mirrors on top of silicon substrate or on the device layer of SOI (Silicon-on-insulator) substrate are the approaches trapped tremendous research activities, because such approaches enable easier alignment and assembly works. These groups of devices are known as the planar VOAs, or two-dimensional (2-D) VOAs. In this review article, we conduct the comprehensively literature survey with respect to MEMS based planar VOA devices. Apparently MEMS VOA technology is still evolving into a mature technology. MEMS VOA technology is not only the cornerstone to support the future optical communication technology, but the best example for understanding the evolution of optical MEMS technology.
#MEMS #Optical MEMS #VOA #Attenuator #Actuator

목차

Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. EARLY DEVELOPMENT WORKS
Ⅲ. SURFACE MICROMACHINED MECHANISMS FOR VOA APPLICATION
Ⅳ. VARIOUS ATTENUATION SCHEMES AND MECHANISMS USING ELECTROSTATIC COMB ACTUATORS
Ⅴ. INNOVATIVE ALTERNATIVE APPROACHES
Ⅵ. RELIABILITY CRITERIA AND CONCLUDING REMARKS
ACKNOWLEDGEMENTS
REFERENCES

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