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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국지능시스템학회 INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS INTERNATIONAL JOURNAL of FUZZY LOGIC and INTELLIGENT SYSTEMS Vol.4 No.2
- 발행연도
- 2004.9
- 수록면
- 172 - 175 (4page)
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Generally, the yield rate of semiconductors is the major factor that affects directly the price of semiconductors. For a high yield rate of semiconductors, the air inside clean room is needed to be purified and high efficient filters are used for this. The filter are made of super-fine fiber and certain pinholes can be easily produced on the filter's surface by inadvertent manufacturing. As these pinholes are not easily detected with the bare sight, these pinholes exert a negative impact to filtration performance of the filter. In this research, not only the automatic test equipment for detecting pinholes is proposed, but also inverse modeling scheme based on artificial neural network is applied for tuning of its important parameters.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. AUTOMATIC TEST EQUIPMENT FOR DETECTING PINHOLES
3. NEURAL INVERSE MODELING SCHEME
4. APPLICATION OF NEURAL INVERSE MODELING SCHEME TO FILTER TEST EQUIPMENT
5. CONCLUSION
References
참고문헌 (5)
참고문헌 신청
, 1992 , supervised learning with a distal teacher 16 : 307 ~ 354
, 1994 , Understanding musical sound with Forward models and Physical models 6 : 355 ~ 371
, 1993 , Functional equivalence between radial basic function network and fuzzy inference systems 4 (1) : 156 ~ 159
, 1989 , J. Moody and C. Darken. Fast learning in networks of locally-tuned processing units. Neural Computation 1 : 281 ~ 294
, 1988 , J. Moody and C. Darken. Learning with localized receptive fields. In D. Touretzky Proc. of the 1988 Connectionist Models Summer School. Carnegie Mellon University
, 1994 , Understanding musical sound with Forward models and Physical models 6 : 355 ~ 371
, 1993 , Functional equivalence between radial basic function network and fuzzy inference systems 4 (1) : 156 ~ 159
, 1989 , J. Moody and C. Darken. Fast learning in networks of locally-tuned processing units. Neural Computation 1 : 281 ~ 294
, 1988 , J. Moody and C. Darken. Learning with localized receptive fields. In D. Touretzky Proc. of the 1988 Connectionist Models Summer School. Carnegie Mellon University
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