비점수차법을 이용한 초정밀변위측정법 연구

이상헌; 정광석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이상헌 정광석

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.7

발행연도: 2008.6

수록면: 87 - 94 (8page)

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The displacement sensor using optical pickup head is presented. The measuring principle of optical pickup head in focusing direction is adopted to measure displacement. The preliminary tests were carried out to verify the feasibility of the optical pickup head as a displacement sensor and optical pickup head showed about 8 ㎛ measuring range and 10㎚ resolution. The methodology to expand measuring range is proposed and proved its validity. The proposed displacement sensors are applied to AFM(Atomic Force Microscope) probe head to measure the deflection of micro-cantilever.

#Astigmatism(비점수차법) #Displacement sensor(변위센서) #Geometrical Optics(기하광학)

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