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한국유체기계학회 한국유체기계학회 학술대회 논문집 유체기계공업학회 2007 유체기계 연구개발 발표회 논문집
발행연도
2007.11
수록면
481 - 487 (7page)

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The aim of this paper is to develop the technology of minute gas flow-rate, which is very important in the fields of semiconductor process and NT(Nano Technology). To reach the aim mentioned above we developed the following measurement method. Firstly, we manufactured several some nozzles of the same throat diameters with the same configuration, and calibrated them by means of the standard measurement system. Then we selected a group of sonic nozzles with the similar characteristics. Lastly, we instituted some nozzles from one nozzle in the upstream and other some nozzles from two nozzles in the downstream. In this way we could all the flow-rates(discharge coefficient) for the some nozzles of the same nominal throat diameter.
#Step-down(유량분할) #Sonic nozzle(소닉노즐) #Discharge coefficient(유출계수) #Flow-rate(유동률)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치
3. 유동분할기법(Step-down Procedure)
4. 실험방법
5. 실험결과
6. 결론
참고문헌

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