마이크로 머시닝 기술을 이용한 새로운 구조의 100 ㎓ DMR bandpass Filter의 설계 및 제작

백태종; 이상진; 한민; 임병옥; 윤진섭; 이진구

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자료유형: 학술저널

저자정보: 백태종 이상진 한민 임병옥 윤진섭 이진구

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 電子工學會論文誌 SD編第44卷第12號

발행연도: 2007.12

수록면: 7 - 11 (5page)

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본 논문에서는 MMIC 응용을 위한 dielectric-supported air-gapped microstrip line (DAML) 구조를 이용하여 dual-mode stepped impedance 링 공진기를 설계 제작하였다. 링 공진기는 표면 마이크로머시닝 기술을 이용하여 만들어졌다. DAML ring resonator는 다층구조로써 공기중에 위치한 신호선과 MMIC 응용에 적합하도록 CPW가 한 평면에 구성되 있으며 DAML-CPW 트랜지션이 자유로운게 특징이다. DAML 링 공진기는 10 ㎛ 높이로 GaAs 기판 으로부터 띄어져 있다. 대역통과 여파기는 dual-mode 공진을 하며 stepped impedance 이용한 구조이다. 측정결과로 중심주파수 97 ㎓에서 감쇠특성은 15㏈, 삽입손실은 2.65 ㏈를 보였으며, 상대 대역폭은 12 %를 나타냈다. 이같은 구조의 대역통과 여파기는 MMIC 와의 직접화에 유리하다.

#micromachining #dielectric-supported air-gapped microstripline(DAML) #microwave monolithic integrated circuit(MMIC) #bandpass filter(BPF) #stepped impedance

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