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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
507 - 512 (6page)

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Recently, according to the development of mechatronics industry that was composed of NT, ST, IT, RT and the necessity of nano-parts was increased. And It was require motion accuracy of high resolution of ㎚ order in stroke of 100㎜ according as diameter of processing object. However, most machine tool has processing accuracy that do not reach in design targets by several variables. Therefore, in this research, mastered correct position information using environment compensation unit that optical fiber laser encoder and pneumatic refractive index and temperature, vibration compensation is available to solve these problem. Also, composed so that optical fiber laser encoder system using optical interference and displacement measurement and position control are available.
#Resolution #Processing Accuracy #Environment Compensation #Optical Fiber Laser Encoder System

목차

Abstract
1. 서론
3. 광섬유 레이저 엔코더 시스템의 구성
3. 레이저 간섭계의 비선형 보상
4. 광섬유 레이저 엔코더
5. 광섬유 레이저 엔코더의 환경보상
6. 환경오차보상의 실험 및 고찰
7. 결론
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