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한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.15 No.4
발행연도
2006.8
수록면
44 - 48 (5page)

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Recently, demand the ultra precision product which is increasing rapidly is used extensively frontier industry field such as semi-conductor, computer, aerospace, precision machine. Ultra precision processing is the portion that is very needed to NT in the field of mechanical engineering. The latest date, together with radical advancement of electronic and photonics industry, necessity of ultra precision processing is on the increase for the manufacture of various kernel parts those are connected with these industrial fields. Specially, require motion accuracy of high resolution of nm order in stroke of hundreds millimeters according as diameter of processing object great and processing accuracy rises. In this case ,the response speed absolute delay because inertial mass of moving part is very large. Therefore, real time motion error compensation becomes very hardly. In this paper, we used ultra precision cutting unit(UPCU) to cope such problem. a UPCU is designed and tested to obtain sub-micrometer from accuracy in diamond turning of flat surfaces. The thermal growth spindle error is compensated for real time using a UPCU driven by piezoelectric actuator along with a laser encoder displacement sensor.
#Error compensation(오차 보상) #Ultra precision lath(초정밀 선반) #PZT(압전소자) #Laser encoder(레이저 엔코더) #ultra precision cutting unit(UPCU)(미소절삭유닛) #Flexure hinge(탄성심지) #The thermal growth error(열팽창 오차)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성 및 오차측정
3. UPCU의 구동특성
4. UPCU의 초정밀위치결정 능력
5. UPCU의 오차추종 성능실험
6. 결론
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