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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.10
수록면
78 - 83 (6page)

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Planar stage based on induction principle is suggested to effectively cope with such severe request as large workspace in the flat panel display manufacturing etc. The system consists of the array type of four transverse flux linear induction motors, and its moving part is levitated by the porous media air bearings to counterbalance a strongly attractive force under low frequency band. First, this paper gives an overview of trends in the existing stage technologies. And then, the overall layout of the suggested system is described and a novel vector control method is given to complement a poor characteristic of low-speed actuation.
#Air Suspension(공기 부상) #Induction Principle(유도 원리) #Planar Stage(평면 스테이지) #Vector Control(벡터 제어)

목차

Abstract
1. 서론
2. 평면 스테이지의 개발 동향
3. 유도원리 방식의 스테이지
4. 저속 영역에서의 벡터 제어기
5. 결론 및 향후 연구 내용
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