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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.5
- 수록면
- 2,046 - 2,051 (6page)
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Boiling heat transfer on porous silicon surface was studied in this study. Experiments were conducted to investigate the effects of porous surface with submicron-scale roughness on the boiling heat transfer in subcooled FC-72 at the ambient pressure. Two-types of porous silicon surface were obtained using anodisation with HF (hydro fluoric acid) based electrolyte and DMF (dimethylforamide) based one. Thin film heaters for supplying constant heat flux and thin film temperature sensors were fabricated using conventional MUPs processes with doped polysilicon. Enhanced heat transfer using PSHF chip (porous silicon made using HF based electrolyte) and PSDMF chip (porous silicon made using DMF based electrolyte) were about 40.7 % and 2.3 %, respectively.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험용 칩 제작
3. 실험 장치 및 방법
4. 결과 및 토의
5. 결론
후기
참고문헌
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