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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
39 - 43 (5page)

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Freestanding thin films are generally used in MEMS/NEMS devices. In order to design and fabricate these devices, it is essential to estimate the mechanical properties of their constituted materials. Strip bending test is one of the methods to characterize mechanical behavior of thin films. The stress concentration of a strip bending specimen have to be considered to get accurate measurement results. In this study, we try to suggest guidlines for desining strip bending specimens. We compare with the analytical results of a straight strip and a modified strip using finite element method. In addition, the experiments are conducted to ensure the validity of finite element analysis.
#MEMS #freestanding microstructure(자유지지 미소구조물) #thin film(박막) #strip bending test(띠굽힘 시험) #finite element analysis(유한요소해석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 띠 굽힘 시험
3. 유한요소해석
4. 유한요소해석 결과
5. 실험적 검증
6. 결론 및 요약
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