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대한기계학회 대한기계학회 기타 간행물 2002년도 기계관련 산학연 연합심포지엄 강연 및 논문 초록집
발행연도
2002.11
수록면
362 - 367 (6page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 시편 및 실험 장치
3. LRI를 이용한 산화막 두께 측정
4. EDM을 이용한 산화막 두께의 측정
5. 맺음말
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