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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
1,809 - 1,813 (5page)

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A micromachined convective accelerometer is composed of a heating resistor and temperature detectors. Acceleration is detected by sensing changed temperature profile that is modified by natural convection. In this research, several design variables, distance of detector from heater, height of detector from substrate, frequency and heating power, are considered. Thermopile model is adopted for temperature detecting element. Based on numerical thermal transient analysis, parametric optimal design values are presented for better sensitivity and thermal time delay.
#Convective accelerometer(열 대류 가속도계) #Thermal accelerometer(열 가속도계) #Natural convection(자연대류)

목차

Abstract
1. 서론
2. 해석 모델
3. 해석 과정
4. 해석 결과
5. 결론
참고문헌

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