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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
1,694 - 1,697 (4page)

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In this work, we have developed nanopatterning technologies for the fabrication of a synthetic nanostereocilia. Various nanopatterning technologies including nanoimprint lithography, soft lithography, and focused ion beam (FIB) have been tried to pattern metal catalysts for carbon nanotube (CNT) growth. Catalyst nanodot patterns in the range from 50 ㎚ to 150 ㎚ could be obtained from these technologies. Finally, Patterned structures for CNT growth with high aspect ratio which were similar to natural nanocilia were fabricated with the catalyst patterns.
#Nanopatterning(나노패터닝) #Carbon nanotube(탄소나노튜브) #Artificial nanostereocilia(인조 나노 부동섬모) #Pattern replication(패턴복제)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험결과 및 토론
3. 결론
후기
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